Som kerneudstyr i den integrerede kredsløbsindustri kalder nogle mennesker litografimaskinen" den mest sofistikerede og komplicerede maskine til menneskeheden" ;. Som det vigtigste udstyr til chipfremstilling er litografimaskinen også kendt som" eksponeringsmaskine" som kerneudstyr til chipfremstilling. en. Litografimaskinen er en enhed, der bruger en ultraviolet bølgelængde excimer laser til at fjerne beskyttelsesfilmen på waferoverfladen gennem en skabelon og derefter suge waferen i et ætsende middel. Den del, der mister beskyttelsesfilmen, ætses væk for at danne et kredsløb.
Den almindeligt anvendte litografimaskine er maskejusteringslitografi, og den generelle litografiproces involverer rengøring og tørring af overfladen af siliciumskiven, bundbelægning, centrifugering af fotoresist, blød bagning, eksponering for justering, efterbagning, udvikling, hård bagning, ætsning og andre processer. Kvaliteten af litografimaskinen bestemmer direkte, hvilket niveau af proceschips der kan fremstilles, hvilket viser dens betydning.
Og i år forbereder både Apple, Samsung og Huawei sig på at udvikle nye 5 nm mobiltelefonchips. Uanset om det er Apple' s A14, Qualcomm' s Snapdragon 888-chip eller Samsung Exynos 1080, Kirin 9000 osv., Repræsenterer alle branchens' s højeste niveau på 5 nm chips. Inden for 5G og mobil kan det ses, at forskellige producenter forbereder sig. 5 nm chips ser ud til at nå deres grænser, men i fremtiden vil chips fortsætte med at forbedre og opgradere, og endnu større teknologiske gennembrud er stadig ukendte, og litografimaskinen skal spille en rolle. Uundværlig og vigtig rolle.
Som et af de mest komplekse præcisionsudstyr i verden er der faktisk ud over produktionen af chips også litografi til emballering eller projektionslitografi til LED-fremstilling. På nuværende tidspunkt importeres mit lands' s avancerede litografimaskiner grundlæggende fra den hollandske ASML. Uanset hvad der er fremstillet eller designet af avancerede chips, er one-stop-service af chipdesign og fremstilling blevet monopoliseret af vestlige lande. Disse industrier i mit land kontrolleres i øjeblikket af andre.
Globalt mønster af litografimaskine
På nuværende tidspunkt er de største producenter af globale litografimaskiner: ASML, Nikon, Canon, Otech, Shanghai mikroelektronikudstyr, SUSS, ABM, Inc. High-end projektionslitografimaskiner kan opdeles i to typer: trinprojektion og scanningsprojektionslitografi maskiner. Opløsningen er normalt mellem syv nanometer og flere mikrometer. High-end litografimaskiner er kendt som de mest præcise instrumenter i verden. Der er 1,2 En litografimaskine til en milliard dollars.
Den avancerede litografimaskine kan kaldes blomsten i den moderne optiske industri, og dens fremstilling er så vanskelig, at kun få virksomheder i verden kan fremstille den. Disse er hovedsageligt de tre store mærker af udenlandske mærker: ASML fra Holland, Nikon fra Japan og Canon fra Japan.
Før dette sagde præsidenten for ASML, den førende globale producent af litografimaskiner, at selvom tegningerne blev offentliggjort, ville vi aldrig være i stand til at efterligne toplitografimaskiner.
Faktisk har ASML en markedsandel på 90% i verdens' s lignende produkter og næsten 100% markedsandel under 10 nm-noden, hvilket næsten monopoliserer den globale high-end chipfremstillingskerne. Og deres virksomheds' s overskud har nået 2-3 milliarder euro i de sidste par år. Andre konkurrenter i samme branche har stort set ikke været i stand til at indhente, og selv USA er uden for rækkevidde.
Med de sanktioner og salgsforbud, som USA pålægger, er den eneste vej ud for mit lands' s litografimaskine uafhængig forskning og udvikling. Selvom ASML kan fastholde sin førende position inden for teknologi og marked med fremtidig teknologisk udvikling, teknologiske innovationer og gennembrud, vil disse huller blive indsnævret hurtigere.
På nuværende tidspunkt er de indenlandske high-end chipforsyningskanalkanaler stærkt begrænset af fremmede lande. Sådan kommer du igennem high-end chip R& D og fremstilling gennem uafhængig forskning og udvikling er i øjeblikket det største problem.